| 学科专业评审组： | 电子与通信技术组 | | 项目名称： | 高精度功率半导体工艺与可靠性仿真平台 |
| 提名单位： | 陕西省人民政府国有资产监督管理委员会 |
| 提名等级： | 三等奖 |
| 提名单位意见： | 由陕西电子芯业时代科技有限公司与天水天光半导体有限责任公司联合开展的高精度功率半导体工艺与可靠性仿真平台项目，构建“仿真-工艺深度协同”的技术体系，攻克新设备新产线工序匹配难题，实现产线快速通线与功率器件高效开发。项目针对西北地区功率半导体产业空白，依托西北首条8吋特色功率半导体芯片产线，构建高精度功率半导体工艺与可靠性仿真平台，实现了工艺设计、参数仿真、风险预判、可靠性分析的数字化与前置化。为高附加值产品的持续研发奠定技术基础，推动功率半导体工艺国产化自主可控。研究成果获得8项知识产权，包括1项发明专利，7项集成电路布图设计，项目成果已经实现了应用，取得了显著的社会和经济效益。该项目成果材料齐全、规范，无知识产权纠纷，人员排序无争议，符合陕西省科学技术进步奖提名条件，同意推荐。 |
| 项目简介： | 
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| 客观评价： | 
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| 应用情况和效益： | 
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| 主要知识产权和标准规范等目录： |  |
| 主要完成人： | - 姓名：陈晓宇
排名：1
行政职务：器件仿真部总监
技术职称：正高级工程师
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献： 创新点1、4、5、6的贡献者，作为第一完成人，主持项目总体方案设计与技术路线制定，组织全流程仿真、模块化并行工艺开发、工艺拉偏优化、量测反馈迭代等核心任务协同推进，牵头关键节点技术评审与质量把关，推动成果在产线转化落地。对知识产权2、3、4、5、7、8有贡献。
曾获国家科技奖励情况：陕西电子信息集团科学技术进步三等奖 - 姓名：杜航辉
排名：2
行政职务：党委书记、董事长
技术职称：高级工程师
工作单位：天水天光半导体有限责任公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1、4、5、6的贡献者，作为项目核心完成人，统筹牵头高精度功率半导体工艺与可靠性仿真平台的引进、本地化适配与技术迭代工作。主导梳理企业晶圆制造、芯片设计、封装测试全流程工艺参数，结合产品实际工况完成仿真模型多轮校准与场景适配，创新优化工艺仿真预判、可靠性数字化分析体系。同时牵头组建专项技术攻关团队，攻克工艺参数仿真偏差、批次一致性管控、良率提升等关键技术难点，通过多轮仿真迭代优化工艺方案，有效解决了制约企业新品迭代、良率提升的核心技术瓶颈，大幅提升公司半导体产品工艺精度与批量生产稳定性，为项目提质增效及产业化落地提供了核心技术支撑与创新方案。对知识产权3、4、5、6、7、8有贡献。
曾获国家科技奖励情况：杜航辉同志长期从事航空航海配套装备、高可靠专用集成电路技术攻关工作，主持多项重点型号芯片研制任务，带领团队完成多项重大任务保障工作，相关工作实绩得到总体单位和用户的肯定与表彰；个人在企业内部承担重大科研项目总负责人，在关键核心技术攻关、人才队伍建设方面实绩突出。 - 姓名：杨小艳
排名：3
行政职务：无
技术职称：助理工程师
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1、2、3、4、5、6的贡献者，负责芯片的器件结构设计与全流程仿真，开展产品结构全工艺流程模拟推演，提前划定工艺窗口，校核耐压值、导通电阻等关键电性参数，实现结构设计、工艺优化、性能仿真、缺陷预判一体化创新。知识产权1的第一发明人，对知识产权2、5有贡献。
曾获国家科技奖励情况：无 - 姓名：王文刚
排名：4
行政职务：总会计师
技术职称：正高级会计师
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1、4、5、6的贡献者，负责模块化并行制造工艺体系建设，缩短产品流片迭代轮次；组织流片前全品类机台能力认证，搭建标准化工艺菜单体系，实现光刻、沉积、刻蚀等关键设备的精准工艺控制。对知识产权2、4有贡献。
曾获国家科技奖励情况：无 - 姓名：王飞
排名：5
行政职务：科技项目部副总监
技术职称：无
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1、4、5、6的贡献者，负责核心工序工艺拉偏试验的设计与实施，围绕热处理温度、光刻曝光尺寸、离子注入深度等关键参数开展系统化拉偏优化，择优锁定最佳匹配工艺方案，保障产品性能达标，支撑器件良率与可靠性提升。对知识产权3、6有贡献。
曾获国家科技奖励情况：陕西电子信息集团科学技术进步三等奖
2026年陕西省企业”三新三小“创新竞赛项目二等奖 - 姓名：张蓓蓓
排名：6
行政职务：无
技术职称：无
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1的贡献者，负责工艺质量管控与快速反馈机制建设，在各关键工艺节点设置备份批次，依托实时量测数据动态微调工艺参数，形成快速反馈与迭代优化闭环，强化批次一致性与过程质量管控。对知识产权8有贡献。
曾获国家科技奖励情况：陕西电子信息集团科学技术进步三等奖 - 姓名：刘禹杉
排名：7
行政职务：无
技术职称：无
工作单位：陕西电子芯业时代科技有限公司
对本项目技术创造性贡献：创新点1的贡献者，负责产线工艺工程化与流片验证，协同完成标准化工艺菜单的产线导入与参数固化，组织多轮流片验证与结果分析，支撑仿真优化工艺方案在量产线落地。对知识产权6有贡献。
曾获国家科技奖励情况：无
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| 主要完成单位及创新推广贡献： | - 单位名称：陕西电子芯业时代科技有限公司
单位贡献： 陕西电子芯业时代科技有限公司是一家专注于高性能特色工艺功率器件及功率集成电路生产的高科技企业。企业总投资45亿元，注册资本20亿元，是国家在西北地区布局的首条8英寸芯片生产线，也是陕西省集成电路产业链强链补链、补齐陕西省以及西北地区集成电路产业链短板、延伸未来产业链发展的标志性项目。芯业时代作为项目牵头承担单位与核心技术攻关主体，全面主导功率半导体工艺与可靠性仿真平台的总体设计、工程实现。公司充分发挥在功率器件全流程工艺整合、模块化制造开发及量产管控方面的技术，为项目提供了从工艺仿真推演、关键参数校核到流片验证、可靠性评价的全链条研发支撑。项目实施中，牵头建立光刻、刻蚀、注入等8大模块并行开发机制，完成全品类机台能力认证与标准化工艺菜单体系建设，显著缩短产品流片迭代轮次。同时，主导开展核心工序工艺拉偏试验与备份批次动态调控，结合实时量测数据与切片微观分析，形成快速反馈与迭代优化闭环，全面提升产品良率、器件可靠性及量产稳定性，成功推动仿真成果在量产端规模化落地。
- 单位名称：天水天光半导体有限责任公司
单位贡献： 天水天光半导体有限责任公司作为本项目参与及产业化落地单位，依托自身芯片设计、晶圆制造、封装测试全产业链研发生产体系，为本项目科技创新攻关、技术落地迭代、规模化应用推广提供了全方位的平台支撑、资源保障与产业承载能力。在科技创新层面，公司深耕半导体领域多年，积累了海量生产工艺数据、产线运行参数与产品可靠性试验数据，为高精度功率半导体工艺与可靠性仿真平台的本地化适配、模型校准、工艺迭代提供了扎实的数据基础与产线试验条件，全力支撑项目攻克传统研发质控模式短板、工艺适配不足、量产良率偏低等技术难题，成功构建适配企业自有产线的数字化仿真研发质控体系，实现了半导体工艺研发、可靠性验证的技术创新升级。在应用推广与产业化层面，公司自2023年起全面推进仿真平台落地应用与持续迭代，将创新技术深度融入新品研发、工艺调试、量产质控全流程，持续优化产品结构、提升生产效能、扩大优质产能，2023-2025年累计实现新增产值31959.3万元，有效降低研发测试成本、生产不良损耗及售后运维成本，实现大幅降本增效。同时，公司依托自身产业优势与市场资源，持续推广数字化仿真工艺技术的产业化应用，不断完善技术应用体系与量产质控标准，持续提升企业产品规模化生产能力、市场交付能力与行业竞争力，为项目科技创新成果落地、持续迭代及规模化产业化推广提供了坚实的平台、技术、产线与市场全方位保障。
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| 完成人合作关系说明： | 完成人合作关系说明：1
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